PLR3000激光尺测量仪是新一代高精度位置检测设备,基于激光干涉测量原理,专为超精密加工、微电子制造、光刻技术、航空航天等高要求领域设计。相比传统钢带尺或玻璃光栅,光纤激光尺具有更加精确的栅距和更高的分辨率,同时其热源隔离设计,保证了更高的稳定性,具有安装快捷,易于准直等特点。
PLR3000非接触式高精度光纤激光尺分辨率可达10nm,线性精度高达0.2ppm,为复杂工业场景提供精准、可靠的位置反馈与控制。在微电子、微机械、微光学等现代超精密加工制造、光刻技术以及航空航天等高科技领域广泛应用。