NS系列纳米高精度台阶仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。

NS系列台阶仪精密测量仪器台阶高度重复性能低于5A，Z0向测量量程可到1050um。最高垂直分辨率可达亚埃米级，且垂直方向动态比率高，可以获取表面轮廓形貌、粗糙度、波纹度、形状误差及其它一些形貌特征等综合信息。探针物理接触测量结果稳定可靠，重复性好，精准拿捏测量的轮廓形貌细节。

NS系列磁吸式测针台阶仪台阶高度重复性能低于5A，Z0向测量量程可到1050um。最高垂直分辨率可达亚埃米级，且垂直方向动态比率高，可以获取表面轮廓形貌、粗糙度、波纹度、形状误差及其它一些形貌特征等综合信息。

NS系列国产亚埃级分辨率台阶仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。

NS系列探针式轮廓仪台阶仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。

NS系列探针式台阶仪应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，可测量沉积薄膜的台阶高度、抗蚀剂（软膜材料）的台阶高度等。